国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(3) H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(3) C01B032/182(3) C01B031/02(2)
C01B032/05(2) C01B032/16(2) C01B032/18(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) C23C016/455(2)
C23C016/46(2)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(3) 2016(2)
申请年 2014(5)
专利权人 AIXTRON SE(2)