国家/地区 | 美国(7) 中国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 德国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B32(7)![]() |
IPC小类 |
B32B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(5) |
申请年 |
2013(7)![]() |
专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G