国家/地区 韩国(5) 美国(5)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) C23(6) B32(3)
H01(3) B05(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/44(6)
发明人 CHOI J(3) CHOI J Y(3) SHIN H(3)
SHIN H J(3) HAN G(2) LEE Y(2)
LEE Y H(2)
公开年 2011(3)
申请年 2010(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(6)