国家/地区 | 中国(6) 日本(6) 美国(6) 世界知识产权组织(4) 德国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C026/00(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2012(2) 2014(2) 2021(2) |
专利权人 |
PENG N, WEN Y, ZHANG Z, WANG D, SHANG W
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y