国家/地区 中国(22) 美国(14) 韩国(12) 世界知识产权组织(12) 日本(10) 印度(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(2)
IPC部 C(56)
IPC大类 C01(56)
IPC小类 C01B(56)
IPC C23C016/26(37) C01B032/186(35) C01B032/194(10)
B82Y030/00(9) B82Y040/00(9) C01B032/182(7)
C01B032/198(7) C23C016/44(7) C23C016/54(7)
C01B032/184(6) H01L021/02(6) C23C016/02(5)
C23C016/56(4) H01L021/205(4) B22F001/02(3)
发明人 LIU Z(4) IFUKU R(3) MATSUMOTO T(3)
RYOTA I(3) TAKASHI M(3) AHN S J(2)
AN S(2) BYUN K(2) BYUN K E(2)
DHAMI H S(2) JOSHI R P(2) KIM C(2)
KIM G H(2) LEE C(2) LEE C S(2)
公开年 2020(25) 2021(18) 2019(13)
申请年 2019(56)
专利权人 BEIJING GRAP.(3) TOKYO ELECTR.(3) UNIV PEKING(3) FUJITSU LTD(2)
NAT INST ADV.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIST ULSAN .(2)