国家/地区 中国(5) 美国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C014/06(5)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2013(5)
专利权人