国家/地区 | 中国(3) 韩国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C014/06(6)![]() |
发明人 | XU S(2) |
公开年 |
2021(6)![]() |
申请年 | 2020(3) 2021(2) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B