国家/地区 中国(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(3) C01B032/194(3)
C30B029/02(3) C01B032/182(2) C30B025/18(2)
发明人 LI L(2)
公开年 2022(7)
申请年 2022(7)
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)