国家/地区 日本(8) 美国(7) 欧洲专利局(EPO)(2) 西班牙(2) 俄罗斯(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14) B82(4) C08(3)
C09(3) H01(3) B32(2)
D01(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B031/04(9) C01B031/02(6) C01B031/00(3)
B82B001/00(2) B82B003/00(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C09C001/56(2) H01L021/336(2)
H01L029/786(2)
发明人 JANG B Z(5) ZHAMU A(5) GUO J(2)
HASHIMOTO A(2)
公开年 2009(14)
申请年 2007(14)
专利权人 JANG B Z(5) ZHAMU A(5) NANOTEK INST.(4) FUJITSU LTD(2)
GUO J(2) UNIV FUKUI(2)

BRAMERWEGER E, BUCHHOLZ S, HOCKE H, MEYER H, MLECZKO L, RUDOLF R, SCHMID M, VOETZ M, WEBER R, WOLF A, BEURAMEOBEGEO E, BUHIHOLCHEU J, HOKE H, MEULREKCHEUKO R, POECHEU M, RUDOLPH R, SCHMIDT M, MAYER H, WERTS M, MERWEGER E, SHMID M, HOKKE H, BRAMER V E, FYOTC M, BUHHOLC Z, BRAMER W E, SCHMITT M