国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(3) H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/186(4) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
C23C016/513(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 SHIN H(5)
公开年 2021(3) 2020(2)
申请年 2020(5)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)