国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C30(3) H01(3)
G11(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) C30B023/06(2) H01L021/02(2)
H01L043/10(2)
发明人 KELBER J(4)
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2012(4)
专利权人 UNIV NORTH T.(4) KELBER J(3)