国家/地区 美国(7) 日本(5) 韩国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) G06(8) H01(5)
H05(4) B82(3) B29(2)
B32(2) G02(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC G06F003/044(8)
发明人
公开年 2016(3) 2012(2)
申请年 2012(2)  2014(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)