国家/地区 韩国(4) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) H05(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(3) H01L051/50(2)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2012(4)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)