国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 印度(2) 墨西哥(2) 俄罗斯(2) 台湾(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C30B029/02(5) C01B031/02(4) C01B031/04(4)
B82Y040/00(3) B05D005/12(2) B32B009/04(2)
B82B003/00(2) B82Y030/00(2) C01B032/188(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人 VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2)
公开年 2011(3) 2009(2)
申请年 2009(5)
专利权人 GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND(2) GUARDIAN IND.(2)