国家/地区 美国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) C30B029/02(4) C23C016/26(3)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) C01B032/188(2)
C23C016/44(2) C30B001/02(2) C30B025/18(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2014(3) 
专利权人