国家/地区 日本(5) 美国(5) 中国(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/15(5)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)