国家/地区 台湾(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/16(5)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2016(2)
申请年 2014(3) 
专利权人 AIXTRON SE(2)