国家/地区 法国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7)
IPC小类 B82Y(7)
IPC B82Y040/00(7) C01B031/04(6) B82Y030/00(5)
C01B031/02(5) B01J023/76(2) C01B032/184(2)
C23C016/26(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
公开年 2013(7)
申请年 2011(7) 
专利权人 CENT NAT REC.(5) CNRS CENT NA.(2) COMMISSARIAT.(2) INST NAT POL.(2)