国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/182(4) C07C025/22(3) B82Y040/00(2)
C01B032/184(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2)
H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 YAMAGUCHI J(3) HAYASHI H(2) YAMADA Y(2)
公开年 2022(5)
申请年 2020(3)  2022(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4) NARA INST SC.(2)