国家/地区 | 韩国(6) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 加拿大(2) 日本(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/00(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2012(3) |
专利权人 |
SHIM W, SIM Y, KIM J Y, MUN J H, HO J C, KIM S J
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H