国家/地区 美国(7) 韩国(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/30(8)
发明人 SEO S(2) SEO S A(2)
公开年 2021(2)
申请年 2011(2)  2020(2) 
专利权人