国家/地区 美国(12) 中国(6) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/52(13)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(4) 2013(3) 2016(2)
申请年 2013(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)