国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/44(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) 2022(2) |
申请年 |
2021(4)![]() |
专利权人 |
PARK G O, YOO S K, CHUNG J H, ZHENG Z, YU S, PARK G
FANG X, HE X, ZHOU X, DOU L, YANG S, SUN A, CAO Y
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K