国家/地区 中国(5)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C014/35(8)
发明人 LI L(3) XU S(2)
公开年 2021(8)
申请年 2020(4)  2021(4) 
专利权人