国家/地区 | 美国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C026/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2015(5)![]() |
申请年 | 2014(5) |
专利权人 |
LIN X, WEI H, LIU P, ZHANG L, JIANG K, FAN S
AHN S I, KUK J K, DONG G K, HAN G J
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
HASEGAWA M, KATO R, TSUGAWA K, ISHIHARA M, OKIKAWA Y, YAMADA T