国家/地区 美国(19) 韩国(13) 世界知识产权组织(11) 中国(9) 日本(9) 欧洲专利局(EPO)(6) 台湾(4)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23)
IPC小类 C01B(23)
IPC C01B031/04(19) C23C016/26(15) C01B032/182(7)
H01L029/16(7) C01B031/02(6) C01B032/186(6)
C01B032/194(6) H01B001/04(6) H01L021/02(6)
H01B013/00(5) B32B009/00(4) B82Y040/00(4)
C23C016/01(4) C23C016/455(4) C01B032/15(3)
发明人 JANG B Z(2) JEONG S(2) ZHAMU A(2)
公开年 2016(10) 2015(8) 2017(5)
申请年 2015(23)
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) ZHAMU A(2)