国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B031/04(7) C01B031/02(4) C23C016/26(3)
C23F001/00(3) B32B009/00(2) B44C001/22(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C23C014/06(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(8)
申请年 2009(8)
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J