国家/地区 | 中国(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)
C01B032/186(3)
C01B032/194(3)
C30B029/02(3) C01B032/182(2) C30B025/18(2) |
发明人 | LI L(2) |
公开年 |
2022(7)![]() |
申请年 |
2022(7)![]() |
专利权人 | TOKYO ELECTR.(2) |
KIM D J, HONG B H, WOO Y S, KIM D, YU Y S
TSUJIMOTO H, KOBUNE T, LI L, LEE L, KOBUNEDAKAKI
DIXON S, KAINTH J, JAGT R, GUINEY I, BADCOCK T J
ZHAO G, YANG Y, WU Y, WANG R, LI L, HE N, YAN B, CHEN N