国家/地区 韩国(6) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3) 日本(3) 墨西哥(3) 俄罗斯(3) 台湾(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
C23C016/26(3) H01L021/205(3) B82B003/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/188(2) C30B029/02(2)
H01L031/04(2)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3)
公开年 2011(6)
申请年 2009(6)
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3)