国家/地区 日本(14)
IPC部 C(14) B(7) G(5)
H(4)
IPC大类 C01(14) B82(4) G01(4)
H01(4) B01(2) B32(2)
C07(2) C23(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/194(6) B82Y040/00(3) C01B032/174(3)
C01B032/186(3) B01J035/02(2) B32B009/00(2)
B82Y030/00(2) C01B032/159(2) C01B032/184(2)
C01B032/198(2) G01N027/12(2) H01L035/22(2)
H01L035/34(2)
发明人 HASEGAWA M(4) KIRIHARA K(3) KUBO T(3)
MUKODA M(3) OKIKAWA Y(3) SHIMIZU T(3)
WATANABE J(3) ISHIHARA S(2) KOTOKU H(2)
MATSUSAWA Y(2) WEI Q S(2)
公开年 2021(14)
申请年 2020(8)  2019(6) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(14)