国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B05(6)
IPC小类 B05D(6)
IPC B82Y040/00(4) C01B031/02(4) B05D003/02(3)
B82Y030/00(3) C23C016/56(3) B05D001/02(2)
B05D003/06(2) B05D003/10(2) B05D005/12(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2009(2) 2010(2)
申请年 2008(2) 
专利权人 CENT NAT REC.(2) COMMISSARIAT.(2) COMMISSARIAT.(2)

BERTHELOT T, HUC V, LE XUAN T, ROUSSEL S, VIEL P, DENIAU G, LE X T, NEKELSON F, ROUSSELL S, TOMASEU B, GI D, BAENGSANG W, SSUAN TTUAN R, PABIENG N, SEBASEUTIENG R, LE X