国家/地区 中国(8) 美国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C04(9) B82(2) C01(2)
C23(2) H01(2)
IPC小类 C04B(9)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C04B002/10(2)
C04B028/04(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 YU C(9)
公开年 2022(4)
申请年 2022(3)  2021(2) 
专利权人 HU S C(2) HUZHOU ZHEBA.(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)