国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/194(3) C01B032/21(3) C01B032/158(2)
C01B032/182(2) C01B032/914(2) C04B035/14(2)
C04B037/02(2) H01L023/36(2) H01L023/373(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2021(5)
专利权人 MITSUBISHI M.(2)