国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C09(7) H01(7) C08(4)
C23(4) B82(3) C01(3)
G01(2) H05(2)
IPC小类 C09D(7)
IPC H01L021/02(7)
发明人
公开年 2021(3) 2022(2)
申请年 2020(3)  2022(2) 
专利权人