国家/地区 |
美国(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C09(7)![]() |
IPC小类 |
C09D(7)![]() |
IPC |
H01L021/02(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) 2022(2) |
申请年 | 2020(3) 2022(2) |
专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
ARNOLD M, JACOBBERGER R, NEALEY P, XIONG S, CHANG T, MA Z, NEALEY P F
SHERWOOD G J, NELSON J T, SU Q, BUHLMANN P P J, ZHEN X, KOESTER S J
GLASS H, GUINEY I, TYLER M, THOMAS S
LIN Y, LEE S, JHONG Y, ZHAMU A, JANG B Z, LI S
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E