国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C09(5)![]() |
IPC小类 |
C09D(5)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/04(2)
G03F007/004(2) |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
ARNOLD M, JACOBBERGER R, NEALEY P, XIONG S, CHANG T, MA Z, NEALEY P F
PALVE A M, AJAY L S
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H