国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C25(5) C23(4)
H01(3) B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2011(2)  2012(2) 
专利权人 JX NIPPON MI.(2) SEMICONDUCTO.(2)