国家/地区 日本(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C25(5) H01(5)
C01(4) C23(3) B01(2)
B22(2)
IPC小类 B82Y(5)
IPC B82Y030/00(5)
发明人 GABEN F(2) KOKUNI T(2) NAGATA T(2)
OGUNI T(2) OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2021(2)
申请年 2012(2)  2020(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)