国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9) C25(9) H01(8)
B82(3) C01(3) B32(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(9)
IPC C23C028/00(9)
发明人
公开年 2021(3) 2022(2)
申请年 2020(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人