国家/地区 中国(7) 美国(4) 韩国(3)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C25D(11)
IPC C23C016/26(7) C23C028/00(4) C23C014/34(3)
C25D009/04(3) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
C23C016/02(2) C25D005/54(2) C25D013/02(2)
H01L021/02(2)
发明人 LI Q(2) WANG X(2)
公开年 2017(5) 2016(3) 2018(3)
申请年 2016(11)
专利权人