国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B82(5)![]() |
IPC小类 |
B82Y(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2020(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
HOU Y, ZHANG H, YANG Y, ZHANG J, GUO J
FEI G, GAO X, HU Z, WANG M, YI H