国家/地区 日本(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13) C25(13) B82(9)
H01(9) C23(7) B32(3)
B01(2) B05(2) C03(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B031/04(13)
发明人 JANG B Z(2) KOKUNI T(2) NAGATA T(2)
OGUNI T(2) OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
ZHAMU A(2)
公开年 2013(3) 2015(3) 2012(2) 2014(2) 2017(2)
申请年 2014(3)  2011(2)  2012(2)  2013(2)  2015(2) 
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) SEMICONDUCTO.(2) ZHAMU A(2)