国家/地区 美国(4) 中国(3) 日本(3) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C01B031/02(4) C23C016/26(4) C30B025/18(4)
H01L021/205(3) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/778(2)
H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(6)
申请年 2012(6)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)