国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) |
申请年 | |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K
VEERASAMY V S, VEERASAMY V