国家/地区 | 美国(6) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) 2013(2) |
申请年 | 2009(2) |
专利权人 |
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
AHN J, HONG B, KIM K, AHN J H, HONG B H, KIM K S
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M