国家/地区 中国(21) 美国(10) 世界知识产权组织(8) 台湾(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 韩国(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) 日本(2)
IPC部 C(33)
IPC大类 C30(33) C01(12) C23(8)
H01(8) B82(4) B01(2)
C09(2)
IPC小类 C30B(33)
IPC C30B029/02(18) C30B025/18(12) C01B031/04(9)
C23C016/26(7) C01B032/182(5) C01B032/186(4)
C30B025/02(4) B82Y040/00(3) C01B032/184(3)
C23C016/02(3) C30B023/08(3) C30B025/00(3)
C30B029/64(3) H01L021/20(3) B82Y030/00(2)
发明人 CHANG C(3) CHEN X(3) HUANG K(3)
KOU C(3) LI L(3) SUN L(3)
ZHANG Z(3) CHANG C C(2) CHEN Z(2)
HUANG K P(2) JIANG M(2) KOU C S(2)
LI X(2) LIN L(2) LIU Z(2)
公开年 2015(14) 2016(13) 2017(6)
申请年 2015(33)
专利权人 SHANGHAI INS.(4) IND TECHNOLO.(3) UNIV PEKING(3) SEMICONDUCTO.(2)
UNIV SHANDON.(2)