国家/地区 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/184(3)
C30B029/02(3) C01B032/182(2) C30B001/02(2)
C30B029/64(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(3)
申请年 2017(4)
专利权人