国家/地区 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/184(3)
C30B029/02(3) C01B032/182(2) C30B001/02(2)
C30B029/64(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(4)
申请年 2017(4)
专利权人