国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7) H01(7) C01(5)
C23(5)
IPC小类 C30B(7)
IPC C30B029/02(5) C01B031/04(4) C23C016/26(4)
C30B025/18(3) H01L021/02(3) C23C016/02(2)
C23C016/44(2) C23C016/46(2) C30B025/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2015(4) 2014(3)
申请年 2014(7)
专利权人