国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C30(10) H01(10) C01(6)
C23(6) B82(4) B32(3)
IPC小类 C30B(10)
IPC C30B029/02(8) C01B031/04(5) B82Y040/00(4)
C01B031/02(4) B82Y030/00(3) C30B025/18(3)
H01L029/786(3) B32B009/00(2) C23C016/26(2)
C30B025/02(2) C30B025/10(2) C30B031/06(2)
C30B033/00(2) H01B001/04(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2014(10)
申请年 2013(5)  2014(3)  2012(2) 
专利权人